蓝宝石晶体基板4大生产公司技术参数-微首页

行业新闻

当前位置: 主页 > 行业新闻

蓝宝石晶体基板4大生产公司技术参数

4大厂家生产的蓝宝石基板的一些基础技术参数(以成熟的C面2英寸蓝宝石基板为例子)。更多的则是外延片厂家根据自身的技术特点以及所生产的外延片质量要求来向蓝宝石基板厂家定制合乎自身使用要求的蓝宝石基板。即客户定制化。

分别为:A:台湾桃园兆晶科技股份有限公司

B:台湾新竹中美矽晶制品制品股份有限公司

C:美国 Crystal systems 公司

D:俄罗斯 Cradley Crystals公司

A:台湾兆晶科技股份有限公司C面2英寸蓝宝石基板技术参数

B:台湾中美矽晶制品制品股份有限公司C面2英寸蓝宝石基板技术参数

项目 Item	规格 Specifications
材料 Material	高纯度单晶Al2O3，
晶向 Orientation	C面（0001）±0.3°
对M轴偏离角度 Off-set Angle toward M-axis	0.20 ± 0.05°
对A轴偏离角度 Off-set Angle toward A-axis	0.0 ± 0.1°
直径 Dismeter	50.8±0.15mm
厚度 Thickness	430μm±15μm
总厚度偏差 TTV	＜10μm
表面总平整度TIR	≦ 10μm
弯曲度 WARP	≦ 15μm
翘曲度 BOW	-10 ~ 0μm
定位面方向 Primary Flat Location	A面（11-20）
定位面偏离角度Flat Off-set Angle	0.0 ± 0.2°
定位边长Primary Flat Length	16±0.5mm
表面粗糙度Frontside Surface Roughness	RA≦ 3Å（即Ra≦0.3nm）
背面粗糙度 Backside Surface Roughness (Ra)	Ra=0.5~1.0μm
包装 Package	洁净室内真空冲氮包装

C:美国 Crystal systems 公司C面2英寸蓝宝石基板技术参数

项目 Item	规格 Specifications
材料 Material	高纯度单晶Al2O3 >99.99%
晶向 Orientation	C轴（0001）± 0.2°
直径 Dismeter	50.8±0.15mm
厚度 Thickness	330μm/430μm±25μm
总厚度偏差 TTV	≦ 25μm
翘曲度 BOW	≦ 20μm
定位边方向 Primary Flat Location	A轴（11-20）± 0.3°
定位边长Primary Flat Length	16±1.5mm
正面 Front Surface	精细抛光（开盒即用） finishing polishing epi-ready
表面粗糙度Surface Roughness(Ra)	Ra＜1nm
背面 Backside	精细研磨 Fine grind Rmax 5-10 µm
包装 Package	100级洁净室冲氮包装5/10/25片盒装

D:俄罗斯 Cradley Crystals公司C面2英寸蓝宝石基板技术参数

项目 Item	规格 Specifications
材料 Material	高纯度单晶Al2O3 >99.99%
晶向 Orientation	C轴（0001）± 0.2°
直径 Dismeter	50.8±0.1mm
厚度 Thickness	330μm/430μm±25μm
总厚度偏差 TTV	≦ 10μm
翘曲度 BOW	≦ 5μm
定位边方向 Primary Flat Location	A轴（11-20）± 0.3°
定位边长Primary Flat Length	16±0.8mm
正面 Front Surface	精细抛光（开盒即用） finishing polishing epi-ready
表面粗糙度Surface Roughness(Ra)	Ra＜0.3nm
背面 Backside	精细研磨 Fine grind Ra＜1µm或80/50polishing
包装 Package	100级洁净室冲氮包装25片盒装